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采用 ATSTM 技术的 STREAMINETM 气体输送热系统

Watlow 的新型 STREAMINE 气体输送热系统采用 ATS 技术,可提供温度均匀性、减少占用时间、广泛的诊断和快速开发时间

由于组件的数量和布线的迷宫都位于小区域内,因此在半导体工具中加热和控制气体管道、前线和排气线路上的热过程通常很复杂。这些因素使安装和维护变得繁琐、耗时且昂贵。此外,如今’的客户需要关于系统健康状况的更多热数据,以确保温度均匀性,这是保持生产线顺畅运行所必需的。此外,在供不应求时,半导体市场的商业周期可能会导致交货期延长。这些问题,再加上其他问题,使得半导体设备工程师的工作比以往任何时候都更具挑战性。

由于在半导体市场工作多年的经验和深厚的领域知识,Watlow® 最近开发了 STREAMLINE™ 气体输送热系统解决方案,其专利的自适应热系统® (ATS™) 技术可帮助解决与典型系统复杂性相关的市场痛苦。Watlow’s 解决方案是一种创新、动态和完整的热系统,可提供温度均匀性、减少占用空间、广泛的诊断和更快的开发时间。

Watlow 已从加热器上移除了干扰组件,并将这些功能和功能移至 EZ-ZONE® RMT 温度控制器中,该控制器提供闭环控制,每个加热器都配有集成过温安全保护,只有两根导线。这有助于减少安装错误,并可简化故障排除。由于需要集成更少的控制器,将所需的加热器连接切断三分之二,使安装更快、更容易。它还降低了成本,提供了空间效率更高的系统。此外,Watlow’s 加热器设计使部件能够重新用于未来系统,从而减少了 SKU 和总体交货期。

Watlow’的新型 STREAMINE 气体输送系统通过美观而强大的解决方案增强了您的应用,减少了线缆和更多功能。