ATS®

Watlow 的自适应热系统 (ATS) 技术是一套功能，将加热器设计与控制系统相结合，以提供差异化  闭环控制和简化系统集成。从腔室到减排系统，采用 ATS 技术可优化复杂组件的热性能。我们将创新热系统、先进的建模工具和 ATS 技术结合起来，以控制不可预测性。

ATS 将：

• 启用腔室匹配/指纹；
• 提供多区azimuthal 温度控制
• ；提高产量
；
• 提高诊断和 FDC
• ；防止陶瓷底座断裂
• ；适应不断变化的过程条件
• ；减少布线
• ；减少布线；
• 降低总拥有成本

；请联系您的 Watlow 半导体代表了解更多信息。