传感器

温度传感器的精度、可重复性和稳定性对于晶片加工应用至关重要。Watlow 的先进传感器技术围绕光纤、热电偶和 RTD 以及热敏电阻传感器组件进行专门设计，以确保在具有挑战性的环境中获得精确和可重复的温度反馈。Watlow 的光纤传感器将信号调节器集成到温度控制模块中，在射频等离子条件下提供优异的精度，并减少了所需的占用空间。

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电子和控制

精确热控制只能通过具有针对特定应用优化的算法的温度控制器来实现。Watlow 的 EZ-ZONE® 控制器系列结合了温度（带射频免疫温度传感）、过程、限制、电流监控、警报、数据记录等，以完成热环路。我们的控制器不仅提供精密闭环控制，还可提供一种使半导体制程的热要素网络化的方式。Watlow 温度控制器支持通过 EtherCAT®、标准总线、DeviceNet™、Ethernet/IP™、PROFIBUS、Modbus® TCP 和 Modbus® RTU 进行通信。Watlow 还提供定制控制箱设计，提供集成的交钥匙控制系统和解决方案。