Etch 解决方案

通过持续的半导体扩展等应用，需要高度精确和极其复杂的热系统。温度偏差对关键蚀刻参数（例如 CD、蚀刻速率、蚀刻轮廓和选择率）有显著影响，所有这些都直接影响良率、品质或工具的吞吐量。Watlow 在高级控制、射频抗扰性和温度调谐性等领域拥有创新的解决方案，以提高蚀刻工具的性能。

有关详细信息，请联系您的 Watlow 半导体代表。