By: Eric Ellis on February 11, 2022 Download 摘要 半导体工具具有气体管道、前级和排气管道，需要精确的加热和热过程控制。传统系统既复杂又繁琐，往往无法提供足够的热数据和加热控制。如果没有最佳的热性能，线路关闭就不可避免且成本高昂。 Watlow 的 STREAMLINE™ 加热系统采用自适应热系统® (ATS™) 技术，打造了一个集中式热系统，具有更高的温度均匀性、更小的占地面积、广泛的诊断和更快的开发时间。 下载白皮书
