公告:Eurotherm® 加入 Watlow® - 读取新闻稿
白色纸：在半导体制造用的气体管道加热系统中实现温度均匀性
具有气体管道、前级和排气管道的
半导体工具需要精确的加热和热过程控制。传统系统既复杂又繁琐，往往无法提供足够的热数据和加热控制。如果没有最佳的热性能，线路关闭就不可避免且成本很高。
Watlow 的 STREAMLINE™ 加热系统采用自适应热系统® (ATS™) 技术，打造了一个集中式热系统，具有更高的温度均匀性、更小的占地面积、广泛的诊断和更快的开发时间。
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半导体工具需要精确的加热和热过程控制。传统系统既复杂又繁琐，往往无法提供足够的热数据和加热控制。如果没有最佳的热性能，线路关闭就不可避免且成本很高。
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