Watlow 推出了其新型光纤温度传感与控制系统,特别适合射频 (RF) 环境
07/30/2015
管理员
密苏里州圣路易斯
Watlow®是整个热系统的设计和制造领域的行业领导者,很高兴宣布推出全新的 EZ-ZONE® RM 光纤温度测量系统,这是一种紧凑型传感和控制解决方案,是等离子环境的理想选择。
当暴露于等离子室的电磁环境时,传输电信号(如热电偶和 RTD)的温度传感器通常会受到损害,RF 噪声会连接到传感器上并扭曲信号。采用荧光原理的光纤温度传感可在等离子环境中运行,提供稳定性、可重复性和成本效益。因此,它们是确定腔室盖、腔室挡板、静电卡盘、边缘环和淋浴头等腔室组件温度的理想选择。
Watlow 利用其在控制系统中的实力,将荧光传感方面的进步与其强大的 EZ-ZONE RM 控制平台相结合,为最新的半导体处理工具创造了一个集成解决方案。系统分为两种版本,可适应所有系统要求。
EZ-ZONE RMZ 将光纤、PID 温度控制和 EtherCAT ®通信功能集成到一个封装中。它拥有最多 48 个环路的输入和控制,所有 EZ-ZONE RM 温度控制功能包括 I/O、逻辑、电流测量、功率开关等。
对于无需实施 EtherCAT的与会者®,EZ-ZONE RMF 模块是一个专用光纤输入模块,将 EZ-ZONE 控制系统的功率与一到八个光纤温度传感通道结合起来。它既可用作扩展模块,也可配置内置温度控制环路。这两个模块为系统设计人员提供了集成解决方案,并灵活地根据需要扩展了传感/控制区的数量。只需传感时,EZ-ZONE RMF 可单独使用。
与等离子室相关的房地产成本昂贵。Watlow’的光纤温度测量系统非常紧凑,只有 144 立方英寸,可以安装在 DIN 导轨上,从而最大限度地缩小了安装的空间。光纤探头(传感头)的集成基于许多因素进行定制,包括应用环境、温度设置、尺寸限制和材料兼容性。
其他系统优势包括:采用高分辨率、高精度荧光信号处理电子元件和高度可靠的 LED 光源,以低电流运行,以延长使用寿命。
“半导体业务单元营销总监 Ray Derler 说,”引入我们的光纤温度测量和控制系统标志着该技术领域的重大进步。“虽然传感技术已得到显著改进,以提升性能和可靠性,但此产品已超越传感器作为组件,为设备设计者带来了新的系统级优势。我们很荣幸地推出我们的光纤温度测量系统,因为该系统将带来诸多好处。我们的客户一直告诉我们,他们需要更好的解决方案,以解决可靠性、准确性和系统级包装问题。我们的新系统是等离子室温度传感和控制所需的创新。”
关于 Watlow
Watlow 设计和制造工业加热器、温度传感器、控制器和支持软件,以及热系统–的所有组件。公司与客户合作,以优化热性能、缩短设计时间并提高其产品和应用的效率。
Watlow 将其经验带到众多行业,包括半导体加工、环境腔室、能源过程、柴油排放、医疗和食品服务设备。
自 1922 年创办至今,Watlow 在产品性能、市场经验、全球开拓等方面取得了长足进步。该公司拥有 415 多项专利,在美国、墨西哥、欧洲和亚洲的九家制造工厂和三个技术中心雇用了 2,000 名员工。并已在全球十六个国家开设销售办事处。公司继续发展,而–为客户提供满足其个人需求的优质产品和服务的承诺保持不变。
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