Sensoren

Nauwkeurigheid, herhaalbaarheid en stabiliteit van de temperatuursensor zijn van cruciaal belang voor toepassingen in de wafelverwerking. De geavanceerde sensortechnologieën van Watlow rond glasvezel, thermokoppels en RTD's en thermistorsensoreenheden zijn speciaal ontworpen om nauwkeurige en herhaalbare temperatuurfeedback in uitdagende omgevingen te garanderen. De glasvezelsensor van Watlow biedt superieure nauwkeurigheid in RF-plasmaomstandigheden en vermindert de vereiste voetafdruk door de signaalconditioner in de temperatuurregelmodule te integreren.

Neem contact op met uw Watlow-halfgeleidervertegenwoordiger voor meer informatie. 

Elektronica en bedieningselementen

Nauwkeurige thermische regeling kan alleen worden bereikt met temperatuurregelaars die algoritmen hebben die zijn geoptimaliseerd voor een specifieke toepassing. De familie EZ-ZONE®-controllers van Watlow combineert temperatuur (met RF-immuuntemperatuurdetectie), proces, limiet, stroombewaking, alarmen, datalogging en meer om de thermische lus te voltooien. Onze controllers bieden niet alleen nauwkeurige closed loop-regeling, maar ook een middel om de thermische aspecten van het halfgeleiderproces te netwerken. Watlow-temperatuurregelaars ondersteunen communicatie via EtherCAT®, standaardbus, DeviceNet™, Ethernet/IP™, PROFIBUS, Modbus® TCP en Modbus® RTU. Watlow biedt ook aangepaste besturingskastontwerpen die geïntegreerde kant-en-klare besturingssystemen en oplossingen leveren.