Oplossingen voor depositie
Naarmate de wet’van Moore voortduurt en technologienodes onder de 20 nm dalen, worden thermische prestaties nog belangrijker voor het beheersen van depositieprocessen en filmkwaliteit. Watlow begrijpt hoe hij thermische systeemoplossingen kan ontwikkelen in uitdagende ALD-, CVD-, PECVD- en PVD-toepassingen om de prestaties van het gereedschap te verbeteren. Precisieverwarmers voor hoge temperaturen die zijn geïntegreerd met geavanceerde sensoren en controllers leveren baanbrekende thermische uniformiteit en systeemresponsen voor de volgende generatie nodes.