Samenvatting
Veel onderdelen die cruciaal zijn voor de fabricage van front-end halfgeleiders (zoals elektrostatische klauwplaten, wafelvoetstukken, keramische verwarmingselementen en implantaatwielen) ervaren slijtage na verloop van tijd. Hierdoor kunnen onderdelen defect raken en kan vervanging duur zijn, zowel wat betreft nieuwe onderdelen als wat betreft de uitvaltijd die nodig is om ze te installeren. Er zijn nu nieuwere technologieën beschikbaar die van renovatie van bestaande onderdelen een haalbare en kosteneffectieve optie maken.
Download het witboek of neem contact met ons op om de renovatie van uw apparatuur te bespreken