WITTE PAPIER: Het bereiken van temperatuuruniformiteit in gasleidingverwarmingssystemen voor halfgeleiderproductie
Samenvatting
Halfgeleidergereedschappen met gasleidingen, voor- en uitlaatleidingen vereisen nauwkeurige verwarming en thermische procesregeling. Traditionele systemen zijn complex en omslachtig en bieden vaak onvoldoende thermische gegevens en verwarmingsregeling. Zonder optimale thermische prestaties zijn lijnuitschakelingen onvermijdelijk en duur.
Het STREAMLINE™ verwarmingssysteem van Watlow met Adaptive Thermal Systems® (ATS™)-technologie creëert een gecentraliseerd thermisch systeem met verbeterde temperatuuruniformiteit, verminderde voetafdruk, uitgebreide diagnostiek en snellere ontwikkelingstijden.
