POWERGLIDE®
Il nuovo POWERGLIDE® consente prestazioni superiori dei piedistalli in ceramica di nitruro di alluminio multizona
POWERGLIDE offre diversi protocolli di comunicazione, tra cui EtherCAT®, ottimizzato per il settore della produzione di semiconduttori.
Caratteristiche e vantaggi
Algoritmo di calibrazione automatica integrato
- Elimina i tempi di fermo associati alla calibrazione
Controllo della temperatura basato sui materiali del riscaldatore TCR elevato
- Consente il controllo a circuito chiuso per tutte le zone
Incorpora algoritmi di controllo della ceramica
- Mantiene i limiti dei materiali per proteggere il piedistallo
- Fornisce un controllo PID programmabile basato sullo stato
Protocollo di comunicazione EtherCAT®
- Garantisce il rispetto dei protocolli standard del settore