Sensori La precisione, la ripetibilità e la stabilità dei sensori di

temperatura sono fondamentali per le applicazioni di lavorazione dei wafer. Le tecnologie avanzate dei sensori Watlow relative a fibre ottiche, termocoppie, RTD e gruppi di sensori termistore sono appositamente progettate per garantire un feedback di temperatura preciso e ripetibile in ambienti difficili. Il sensore a fibra ottica di Watlow offre una precisione superiore in condizioni di RF plasma e riduce l'ingombro richiesto integrando il condizionatore di segnale nel modulo di controllo della temperatura.

Per ulteriori informazioni, contattare il rappresentante dei semiconduttori Watlow. 

Elettronica e controlli

Il controllo termico preciso può essere realizzato solo con controller di temperatura dotati di algoritmi ottimizzati per un'applicazione specifica. La famiglia di regolatori EZ-ZONE® di Watlow combina temperatura (con rilevamento della temperatura immunitaria RF), processo, limite, monitoraggio della corrente, allarmi, registrazione dei dati e altro ancora per completare il circuito termico. I nostri controllori non solo forniscono un controllo ad anello chiuso di precisione, ma forniscono anche un mezzo per collegare in rete gli aspetti termici del processo dei semiconduttori. I controller di temperatura Watlow supportano le comunicazioni tramite EtherCAT®, bus standard, DeviceNet™, Ethernet/IP™, PROFIBUS, Modbus® TCP e Modbus® RTU. Watlow fornisce anche design personalizzati di scatole di controllo che offrono sistemi e soluzioni di controllo chiavi in mano integrati.