CARTA BIANCA: Raggiungimento dell'uniformità di temperatura nei sistemi di riscaldamento delle linee del gas per la produzione di semiconduttori
Riepilogo Gli utensili
a semiconduttore con linee del gas, linee di prime linee e linee di scarico richiedono un controllo preciso del riscaldamento e del processo termico. I sistemi tradizionali sono complessi e ingombranti e spesso non offrono dati termici e controllo del riscaldamento sufficienti. Senza prestazioni termiche ottimali, gli arresti di linea sono inevitabili e costosi.
Il sistema di riscaldamento STREAMLINE™ di Watlow con tecnologia Adaptive Thermal Systems® (ATS™) crea un sistema termico centralizzato con una migliore uniformità della temperatura, un ingombro ridotto, una diagnostica estesa e tempi di sviluppo più rapidi.
