CARTA BIANCA: Raggiungimento dell'uniformità di temperatura nei sistemi di riscaldamento delle linee del gas per la produzione di semiconduttori

By:  - February 11, 2022  


Sommario

Gli utensili a semiconduttore con linee del gas, prime linee e linee di scarico richiedono un controllo preciso del riscaldamento e del processo termico. I sistemi tradizionali sono complessi e ingombranti e spesso non offrono dati termici e controllo del riscaldamento sufficienti. Senza prestazioni termiche ottimali, gli arresti di linea sono inevitabili e costosi. 

Il sistema di riscaldamento STREAMLINE™ di Watlow con tecnologia Adaptive Thermal Systems® (ATS™) crea un sistema termico centralizzato con una migliore uniformità della temperatura, ingombro ridotto, diagnostica estesa e tempi di sviluppo più rapidi. 

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