POWERGLIDE®
Le nouveau POWERGLIDE® permet des performances supérieures des socles en céramique de nitrure d’aluminium à zones multiples
POWERGLIDE propose plusieurs protocoles de communication, notamment EtherCAT ®, qui est optimisé pour l’industrie de la fabrication de semi-conducteurs.
Caractéristiques et avantages
Algorithme d’étalonnage automatique intégré
- Élimine les temps d’arrêt associés à l’étalonnage
Régulation de température basée sur des matériaux de chauffage à TCR élevé
- Permet un contrôle en boucle fermée pour toutes les zones
Intègre des algorithmes de contrôle céramique
- Maintient les limites des matériaux pour protéger le socle
- Fournit une régulation PID programmable, basée sur l’état
Protocole de communication EtherCAT®
- Garantit le respect des protocoles standard de l’industrie