Capteurs La précision, la répétabilité et la stabilité des capteurs de

température sont essentielles pour les applications de traitement des plaquettes. Les technologies de capteurs avancées de Watlow autour des fibres optiques, des thermocouples, des RTD et des ensembles de capteurs à thermistance sont spécialement conçues pour assurer un retour de température précis et reproductible dans des environnements difficiles. Le capteur à fibre optique de Watlow offre une précision supérieure dans les conditions de plasma RF et réduit l’empreinte requise en intégrant le conditionneur de signal dans le module de régulation de température.

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Électronique et régulation

Un contrôle thermique précis ne peut être réalisé qu’avec des régulateurs de température dotés d’algorithmes optimisés pour une application spécifique. La gamme de régulateurs EZ-ZONE® de Watlow combine température (avec détection de température immunitaire RF), process, limite, surveillance du courant, alarmes, enregistrement de données et plus encore pour compléter la boucle thermique. Nos régulateurs fournissent non seulement un contrôle de précision en boucle fermée, mais fournissent également un moyen de mettre en réseau les aspects thermiques du processus de semi-conducteurs. Les régulateurs de température Watlow prennent en charge les communications via EtherCAT®, bus standard, DeviceNetTM, Ethernet/IPTM, PROFIBUS, Modbus® TCP et Modbus® RTU. Watlow fournit également des conceptions de boîtiers de contrôle personnalisés offrant des systèmes et des solutions de contrôle clés en main intégrés.