Solutions de gravure

Avec une mise à l’échelle continue des semi-conducteurs, les applications de gravure nécessitent des systèmes thermiques extrêmement précis et complexes. L’écart de température a un impact significatif sur les paramètres de gravure critiques tels que le CD, le taux de gravure, le profil de gravure et la sélectivité, qui ont tous un impact direct sur la qualité du rendement ou le débit de l’outil. Watlow propose des solutions innovantes dans des domaines tels que les contrôles avancés, l’immunité RF et la possibilité de réglage de la température afin d’améliorer les performances des outils de gravure.

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