Solutions de dépôt
Alors que la loi’de Moore continue et que les nœuds technologiques diminuent en dessous de 20 nm, les performances thermiques deviennent encore plus critiques pour contrôler les processus de dépôt et la qualité des films. Watlow comprend comment développer des solutions de systèmes thermiques dans des applications ALD, CVD, PECVD et PVD complexes afin d’améliorer les performances des outils. Les éléments chauffants de précision haute température intégrés à des capteurs et régulateurs de pointe fourniront une uniformité thermique et des réponses système révolutionnaires pour les nœuds de nouvelle génération.