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LIVRE BLANC : Uniformité de la température dans les systèmes de chauffage des conduites de gaz pour la fabrication de semi-conducteurs
Résumé
Les outils semi-conducteurs avec conduites de gaz, de refoulement et d’échappement nécessitent un chauffage précis et un contrôle du processus thermique. Les systèmes traditionnels sont complexes et encombrants et ne fournissent souvent pas suffisamment de données thermiques et de régulation du chauffage. Sans performance thermique optimale, les arrêts de ligne sont inévitables et coûteux.
Le système de chauffage STREAMLINE™ de Watlow avec la technologie Adaptive Thermal Systems® (ATS™) crée un système thermique centralisé avec une uniformité de température améliorée, un encombrement réduit, des diagnostics approfondis et des temps de développement plus rapides.
