POWERGLIDE®
El nuevo POWERGLIDE® permite un rendimiento superior de los pedestales de cerámica de nitruro de aluminio de varias zonas
POWERGLIDE ofrece varios protocolos de comunicación, incluido EtherCAT ®, que está optimizado para la industria de fabricación de semiconductores.
Características y beneficios
Algoritmo de calibración automática integrado
- Elimina el tiempo de inactividad asociado con la calibración
Control de temperatura basado en materiales de calefactor de TCR alto
- Permite el control de bucle cerrado para todas las zonas
Incorpora algoritmos de control cerámico
- Mantiene las limitaciones de los materiales para proteger el pedestal
- Proporciona control PID programable basado en estado
Protocolo de comunicaciones EtherCAT®
- Garantiza el cumplimiento de los protocolos estándar del sector