Sensores

La precisión, repetibilidad y estabilidad del sensor de temperatura son fundamentales para las aplicaciones de procesamiento de obleas. Las tecnologías avanzadas de sensores de Watlow en torno a la fibra óptica, termopares y RTD y conjuntos de sensores termistores están especialmente diseñadas para garantizar una retroalimentación de temperatura precisa y repetible en entornos difíciles. El sensor de fibra óptica de Watlow ofrece una precisión superior en condiciones de plasma de RF y reduce la huella requerida al integrar el acondicionador de señal en el módulo de control de temperatura.

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Electrónica y controles

Solo puede lograrse un control térmico preciso con controladores de temperatura que tengan algoritmos optimizados para una aplicación específica. La familia de controladores EZ-ZONE® de Watlow combina temperatura (con detección de temperatura inmune a RF), proceso, límite, supervisión de corriente, alarmas, registro de datos y más para completar el bucle térmico. Nuestros controladores no solo proporcionan un control de lazo cerrado de precisión, sino que ofrecen un medio para crear una red de los aspectos térmicos del proceso de semiconductores. Los controladores de temperatura de Watlow admiten comunicaciones por EtherCAT®, bus estándar, DeviceNet™, Ethernet/IP™, PROFIBUS, Modbus® TCP y Modbus® RTU. Watlow también proporciona diseños de cajas de control personalizadas que ofrecen sistemas y soluciones de control integradas llave en mano.