Soluciones de grabado

Con escalamiento de semiconductores continuo, las aplicaciones de grabados requieren sistemas térmicos muy precisos y extremadamente complejos. Una desviación de temperatura tiene un impacto importante en los parámetros de grabados vitales como CD, índice de grabado, selectividad y perfil de grabado; todo esto afecta directamente a la calidad de los resultados o la producción de la herramienta. Watlow tiene soluciones innovadoras en áreas como controles avanzados, inmunidad de RF y ajustabilidad de temperatura, que mejorarán el rendimiento de la herramienta de grabado.

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