Soluciones de deposición
A medida que la ley’de Moore continúa y los nodos tecnológicos se reducen por debajo de 20 nm, el rendimiento térmico se vuelve aún más crítico para controlar los procesos de deposición y la calidad de la película. Watlow entiende cómo desarrollar soluciones de sistemas térmicos en las aplicaciones ALD, CVD, PECVD y PVD complicadas, para mejorar el rendimiento de la herramienta. Los calefactores de precisión de alta temperatura integrados con sensores y controladores de vanguardia ofrecerán una revolucionaria uniformidad térmica y respuestas a los sistemas para los nodos de nueva generación.