POWERGLIDE®
Das neue POWERGLIDE® ermöglicht eine überlegene Leistung von Aluminiumnitrid-Keramik-Säulen mit mehreren Zonen
POWERGLIDE bietet verschiedene Kommunikationsprotokolle an, darunter EtherCAT ®, das für die Halbleiterfertigungsindustrie optimiert ist.
Eigenschaften und Vorteile
Integrierter automatischer Kalibrierungsalgorithmus
- Eliminiert die mit der Kalibrierung verbundenen Ausfallzeiten
Hohe TCR-Heizmaterialien auf Basis der Temperaturregelung
- Ermöglicht die Regelung eines geschlossenen Regelkreises für alle Zonen
Enthält keramische Regelalgorithmen
- Hält die Beschränkungen der Materialien aufrecht, um den Sockel zu schützen
- Bietet programmierbare, zustandsbasierte PID-Regelung
EtherCAT® Kommunikationsprotokoll
- Stellt die Einhaltung von Industriestandard-Protokollen sicher