Messfühler

Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität des Temperaturfühlers sind für Wafer-Verarbeitungsanwendungen entscheidend. Die fortschrittlichen Sensortechnologien von Watlow rund um Faseroptik, Thermoelemente und RTDs sowie Thermistor-Sensorbaugruppen wurden speziell entwickelt, um eine präzise und wiederholbare Temperaturrückmeldung in anspruchsvollen Umgebungen zu gewährleisten. Der Glasfasersensor von Watlow bietet eine überlegene Genauigkeit bei HF-Plasmabedingungen und reduziert den erforderlichen Platzbedarf durch Integration des Signalkonditionierers in das Temperaturregelungsmodul.

Weitere Informationen erhalten Sie von Ihrem Watlow Halbleiter-Vertreter. 

Elektronik und Steuerungen

Eine präzise thermische Steuerung kann erst erreicht werden, wenn die Temperaturregler für eine spezifische Anwendung optimierte Algorithmen haben. Die EZ-ZONE®-Regler von Watlow kombinieren Temperatur (mit HF-Immuntemperaturmessung), Prozess, Grenzwert, Stromüberwachung, Alarme, Datenprotokollierung und mehr, um den thermischen Regelkreis zu vervollständigen. Unsere Regler bieten nicht allein Regelung des geschlossenen Kreislaufs sondern auch einen Weg, die thermischen Aspekte des Halbleiterprozesses zu vernetzen. Die Temperaturregler von Watlow können über EtherCAT®, Standard Bus, DeviceNet™, Ethernet/IP™, PROFIBUS, Modbus® TCP und Modbus® RTU kommunizieren. Watlow liefert auch benutzerspezifische Schaltschrankausführungen mit integrierten, schlüsselfertigen Regelsystemen und Lösungen.