Ätz lösungen

Mit fortgesetzter Halbleiterskalierung erfordern Ätzanwendungen hochpräzise und extrem komplexe thermische Systeme. Temperaturabweichung kann eine bedeutende Auswirkung auf kritische Ätzparameter haben, wie CD, Ätzrate, Ätzprofil und Selektivität, die alle die Ertragsqualität und den Durchsatz des Werkzeugs direkt beeinflussen. Watlow hält innovative Lösungen in Bereichen bereit wie erweiterte Reglermodule, RF-Immunität und Temperaturabstimmbarkeit, die die Leistung verbessern werden.

Weitere Informationen erhalten Sie von Ihrem Watlow Halbleiter-Vertreter.