Depositionslösungen
Während Moores’Gesetz weiterläuft und Technologieknoten unter 20 nm schrumpfen, wird die thermische Leistung noch wichtiger, um Abscheideprozesse und Folienqualität zu steuern. Watlow versteht, wie man thermische Systemlösungen durch Herausfordern von ALD-, CVD-, PECVD- und PVD-Anwendungen entwickelt, um die Leistung der Tools zu verbessern. Präzisions-Heizelemente für hohe Temperaturen mit erstklassigen Sensoren und Reglern werden bahnbrechende thermische Gleichförmigkeit und Systemreaktionen für die Knoten der nächsten Generation liefern.