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WHITE PAPER: Erzielen von Temperaturgleichförmigkeit in Gasleitungsheizsystemen für die Halbleiterherstellung

Halbleiterwerkzeuge mit Gasleitungen, Vorleitungen und Abgasleitungen erfordern eine präzise Erwärmung und thermische Prozessregelung. Herkömmliche Systeme sind komplex und umständlich und bieten oft keine ausreichenden thermischen Daten und Heizungsregelungen. Ohne optimale thermische Leistung sind die Abschaltungen der Leitung unvermeidlich und kostspielig. Das STREAMLINETM Heizsystem von Watlow mit Adaptive Thermal Systems® (ATSTM)-Technologie schafft ein zentralisiertes thermisches System mit verbesserter Temperaturgleichförmigkeit, reduzierter Stellfläche, umfangreicher Diagnose und schnelleren Entwicklungszeiten.

Wie Staging Stromquellen- und Lastkapazitätsprobleme vermeiden kann

Mit steigender Energienachfrage steigen die industriellen Systeme. Ob Erdöl, Erdgas oder andere Quellen zur Stromerzeugung erforderlich sind. Mit zunehmender Größe der Heizelemente und zunehmender Größe der Leistungsregler wächst der Durst nach mehr Energiequellen. Ebenso hat der leistungsstärkste Leistungsregler von Watlow vor 10 Jahren 500 Ampere geschaltet. Heute kann der ASPYRE® DT SCR Leistungsregler unglaubliche 2.100 A verarbeiten.

Die Vorteile der Kaskadenregelung

Die Kaskadenregelung umfasst die Verwendung von zwei diskreten Regelkreisen. Erfahren Sie, wie die Kaskadenregelung Ihren Prozess verbessern kann.

Whitepaper: Neue Alternativen bei der Leistungsumwandlung für elektrische Heizelemente

Alle Geräte haben eine Form der Leistungsumwandlung. Im Allgemeinen waren elektrische Heizelemente hinter der Kurve, wenn es um die Leistungsumwandlungstechnologie geht. Traditionell werden sie durch Pulsieren der empfangenen Leistung gesteuert, wobei sie einen schnellen Ein-/Aus-Schalter verwenden. Während dies einem Heizelement ermöglicht, bei einer bestimmten eingestellten Temperatur zu arbeiten, erhält es die volle Spannung, wenn es eingeschaltet ist, was in einigen Fällen zu Schäden im Laufe der Zeit führen kann. Die innovative Leistungsumwandlungstechnologie von Watlow kann die Leistung je nach Bedarf stufenlos anpassen, was Möglichkeiten für besseres Heizen und Messen in jeder Reihe von spezialisierten Anwendungen eröffnet.