Ankündigung: Eurotherm® tritt Watlow® bei - Pressemitteilung lesen
WHITE PAPER: Erzielen von Temperaturgleichförmigkeit in Gasleitungsheizsystemen für die Halbleiterherstellung
Zusammenfassung
Halbleiterwerkzeuge mit Gasleitungen, Vorleitungen und Abgasleitungen erfordern eine präzise Erwärmung und thermische Prozesssteuerung. Herkömmliche Systeme sind komplex und umständlich und bieten oft keine ausreichenden thermischen Daten und Heizungsregelungen. Ohne optimale thermische Leistung sind die Abschaltungen der Leitung unvermeidlich und kostspielig.
Das STREAMLINE™-Heizsystem von Watlow mit Adaptive Thermal Systems® (ATS™)-Technologie schafft ein zentralisiertes thermisches System mit verbesserter Temperaturgleichförmigkeit, reduziertem Platzbedarf, umfangreicher Diagnose und schnelleren Entwicklungszeiten.
