WHITE PAPER: Erzielen von Temperaturgleichförmigkeit in Gasleitungsheizsystemen für die Halbleiterherstellung

By:  - February 11, 2022  


Zusammenfassung

Halbleiterwerkzeuge mit Gasleitungen, Vorleitungen und Abgasleitungen erfordern eine präzise Erwärmung und thermische Prozessregelung. Herkömmliche Systeme sind komplex und umständlich und bieten oft keine ausreichenden thermischen Daten und Heizungsregelungen. Ohne optimale thermische Leistung sind die Abschaltungen der Leitung unvermeidlich und kostspielig. 

Das STREAMLINE™-Heizsystem von Watlow mit Adaptive Thermal Systems® (ATS ™)-Technologie schafft ein zentralisiertes thermisches System mit verbesserter Temperaturgleichförmigkeit, reduzierter Stellfläche, umfangreicher Diagnose und schnelleren Entwicklungszeiten. 

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